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半導体シリコン結晶工学

著者	志村史夫
出版社	丸善出版
発売日	1993年09月
サイズ	単行本
価格	9,460 円

本書は、半導体材料の基本であるシリコン結晶の工学を基礎から応用まで一貫して述べたものである。著者の、デバイスメーカ・材料メーカ・大学の三者での研究生活の経験を生かし、デバイスと材料の相関を意識した内容となっている。また、図面を多く取り入れ、文献をふんだんに紹介するなどの便宜が図ってある。

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