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ここまできたイオン注入技術 布施 玄秀(著) 工業調査会 - @Books

ここまできたイオン注入技術 (K・ブックス 79)

著者布施 玄秀 / 平尾 孝
出版社工業調査会
発売日1991年07月
サイズ単行本
価格1,922 円

超LSIプロセスのリード役

本書は、イオン注入技術の基礎とデバイス応用、装置について読み易いように項目ごとに解説している。

科学・技術 > 工学 > 電気工学

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