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半導体デバイス第2版 S.M.シー(著) 産業図書 - @Books

半導体デバイス第2版

著者S.M.シー / 南日康夫
出版社産業図書
発売日2004年03月30日頃
サイズ単行本
価格7,260 円

基礎理論とプロセス技術

本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。

科学・技術 > 工学 > 電気工学

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